La medición de la altura del relieve y del relieve promedio es clave para controlar y comprender los procesos de producción. Con la aplicación para la reconstrucción tridimensional de rugosidad y relieve, los sistemas Phenom de mesada tienen la capacidad de generar imágenes tridimensionales y realizar mediciones de rugosidad por debajo del micrón.

La captura de imágenes en 3D ayuda a interpretar las características de la muestra y facilita su comprensión para un mayor número de usuarios. Utilizando un SEM para la recolección de datos, se obtiene una resolución mucho mayor que aplicando los métodos (indirectos) tradicionales.